光学・精密測定機器ガイド2019
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11長さ寸法・距離段差・厚さ測定機顕微干渉計二次元・三次元微細形状測定機 ET200A-3D二次元・三次元 表面粗さ解析 及び 段差測定 に最適高精度・高分解能・優れた安定性を実現FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に直動式検出器を搭載、微少測定力で軟質試料面測定にも対応主な仕様★最大サンプルサイズφ160×厚さ52㎜★測定範囲600μm(分解能:0.1nm)★測定力10~500μN★再現性(段差測定)1σ 0.3nm以内(弊社規格) 株式会社 小坂研究所Profilm3D 3次元表面形状測定システム プロフィルム3Dフィルメトリクス社のプロフィルム3Dは、白色干渉の原理を用いた非接触光学式の3次元表面形状測定システムです。一度に広いエリアの表面形状や段差、粗さを誰でも簡単に測定できます。測定時間は1ショット1秒程度です。●ナノからミリメートルまでの段差や表面形状、粗さを高速測定●10倍レンズで視野2mm角、デジタルズーム併用で簡単に拡大可能●手動4孔レボルバー付、各種倍率の干渉対物レンズに対応●プロファイル、段差、線粗さ、面粗さ、粒子解析、直径・長さ測定●3次元、2次元データ表示、カラー画像表示オプション有●XYZ100mm自動ステージ付、スティッチングオプション有●標準段差サンプル付属●コンパクトな卓上システム、高機能、低価格 フィルメトリクス 株式会社TMS-500 表面形状測定システム非走査型の非接触表面形状測定システムです。一度に広い面積の形状を測定します。●広い測定面積 – X-Y測定範囲:最大228×221mm(オプション機能使用時)●深い測定深度 – 最大70mm●不良品サンプルの検出 – 一度に複数のサンプルの測定が可能、さらに専用ソフトウェアのオプション機能により、パターンマッチングを実行可能 ポリテックジャパン 株式会社 株式会社 ミツトヨライトマチック VL-50-B/50S-B測定力0.01Nにより、変形しやすいワークや高精度部品の測定に最適です。スピンドルはモータ駆動で上下し、ワークに測定子が接触した時に停止します。その後は定圧で最大値・最小値・振れ値の測定も可能です。最小表示量0.01㎛の高分解能、さらに50㎜の広い測定範囲を持っています。測定部と表示部が一体形のVL-50-Bと、セパレート形のVL-50S-Bの2機種をラインアップしています。また、超高精度機種のスーパーライトマチックVL-50AHも取り揃えています。●測定範囲:0〜50㎜●最小表示量:0.01/0.1/1.0㎛(切換可能)●検出方法:反射形リニアエンコーダ●指示精度(20℃):(0.5 + L/100)㎛

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