光学・精密測定機器ガイド2019
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12長さ寸法・距離膜厚計光走査外寸測定機レーザー干渉測長機●光学顕微鏡の多彩な観察方法によってスピーデイに観察対象を探し出す。●光学・レーザー顕微鏡との併用で観察範囲や場所をシームレスに切り替え、SPM(プローブ)顕微鏡での観察・測定・物性評価を行います。●レーザー顕微鏡、SPMでそれぞれ表面粗さ測定ができ、サンプルや目的によって使い分けることができる。●ガイダンス画面に従って迷わず操作できる6つのSPM測定モードを用意。 <標準モード> コンタクトモード、ダイナミックモード、位相モード <オプションモード> 電流モード、表面電位モード(KFM)、磁気力モード(MFM)■用途:工業製品・素材等の研究開発、QA、QCを目的とする3D測定ナノサーチ顕微鏡 LEXT OLS4500ミリからナノまで1台の顕微鏡でシームレスに観察と測定。光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、プローブ顕微鏡(SPM)の一体型モデル。Fシリーズ 非接触光学式膜厚測定システム F20 F40 F50フィルメトリクス社の膜厚測定システムFシリーズは非接触式光学式。UVから近赤外までの波長で一度に高速分光し、膜厚に依存する反射波形から膜厚・光学定数を測定。ナノ~数百ミクロンの膜厚が測定可能。コンパクトな筐体、簡便なソフトウェア、長いワーキングディスタンスでインライン設置も便利。基板厚測定システム、反射率透過率を同時に測定するシステムもございます。●膜厚測定システムF2020年以上に渡って5000台以上販売しているロングセラー製品。テーブルトップシステムですが、これ1台でインラインまで対応します。●顕微鏡式膜厚測定システムF40カメラで測定箇所を確認しながら、顕微鏡光学系により最小1μmのスポット径で測定。●自動膜厚マッピングシステムF502インチ径から最大450mm径の半導体基板や、透明基板に対応。高速で膜厚マッピングし、2次元3次元カラー表示可。顕微鏡光学系を備えたマッピングシステムF54もあります。 フィルメトリクス 株式会社ETALON社製 空間補正システム LaserTRACER-NG市場をリードする三次元測定機に多く採用されているエタロンの空間補正システム。工作機械にも導入する事で機械精度の向上はもちろん、機上ワーク計測の信頼性も高くなります。【主な機能】■三次元測定機の空間補正で工作機械も高精度に■ピッチ補正に比べ誤差を60~80%改善■各種主要コントローラへ空間補正データの出力が可能■熟練作業は不要、空間誤差測定を1~4時間に短縮 YKT 株式会社

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