光学・精密測定機器ガイド2019
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14長さ寸法・距離スケールユニットSmartSCALE SQ47優れた耐環境性を持つ、エアパージ不要の高精度・高分解能磁気式スケール<特長>・広いクリアランスと許容範囲・分離型のシンプル構造・5nmの高分解能・IP67の密閉構造・精度(20℃) : ±(1.5+1.5L/1000μm・最大応答速度 : 200m/min 株式会社マグネスケール

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