光学・精密測定機器ガイド2017
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14長さ寸法・距離XM-60 マルチアクシスキャリブレータXM-60は、1回の測定で直線軸が持つ6自由度(位置決め・真直度(水平/垂直)・角度(ピッチ/ヨー)・ロール)の誤差を同時に測定できるレーザー計測システムです。XM-60は空間補正ユーザーに対して迅速かつ正確なデータを提供します。全ての測定内容は光学式の計測を採用しているのでどのような方向でも使用することができます。コンパクトなラウンチユニットはレーザーユニットと隔離されているため、測定ポイントに熱の影響が及びません。装置に対して側面、逆さまや背面であっても機械に直接取り付けることができるため、機械のアクセスが困難な領域で特に有効です。完全に無線のレシーバーは、充電式バッテリーで動作するため、機械の移動中にケーブルが引っ張られて精度が落ちたり、測定中のレーザービームが遮断されたりすることがありません。 レニショー株式会社高精度レーザー干渉変位計 FPS3010及びIDS3010ナノメーターレベルの精度と最大数メートルの作動距離を併せ持つレーザー干渉変位計です。センサーヘッドは省スペース且つ(超)高真空・極低温・耐放射線仕様タイプもあり、水面やガラスのような低反射率材の変位測定も可能です。特許技術によりアライメント角度も大きいため、使い勝手が良好です。<特長>○高精度 : 分解能1pm,安定性0.286nm(2σ@20mm/4K),位置再現性2nm(@10mm/HV)○長い作動距離 : 0~3m/FPS(IDSは最大5m)、フォーカスタイプ 4mm(低反射率材用)○極小センサーヘッド(単位mm): D14×L17.4(M12 type)、D14×L11.5(D4 type)、D1.2×L7.5(D1.2 type)○センサーヘッド設置可能環境: 数mK(/LT type)、1×10-10mbar(/UHV type)、10MGy以下(/RAD type) ロックゲート 株式会社●総合倍率:108~17280倍●測定項目:段差測定、表面粗さ測定、面積/体積測定、幾何測定、粒子測定*、膜厚測定*、エッジ自動検出測定* (*はオプション)●分解能:(平面)0.12㎛ (高さ)10nm●測定精度:繰り返し性 (平面) 3σn-1=0.02㎛(対物レンズ100倍)            (高さ) σn-1=0.012㎛(対物レンズ100倍)●測定精度:正確さ (平面) 測定値の±2%以内          (高さ) 0.2+L/100㎛以下(L:測定長 単位㎛)■用途:工業製品・素材等の研究開発、QA、QCを目的とする非接触3D測定3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS4100ナノに迫る高分解能にて3D形状の観察・測定を可能にしたレーザー顕微鏡。◎「正確さ」と「繰り返し性」の両方の測定性能を保証。◎ワンクリックで3D画像取得が可能。初心者にも簡単操作。◎電動ステージ採用で広い範囲の画像取得が簡単に行なえる貼合わせ機能。◎非接触での面粗さ・線粗さの測定も可能。触針式表面粗さ測定機と互換性のあるパラメータを搭載。●光学顕微鏡の多彩な観察方法によってスピーデイに観察対象を探し出す。●光学・レーザー顕微鏡との併用で観察範囲や場所をシームレスに切り替え、SPM(プローブ)顕微鏡での観察・測定・物性評価を行います。●レーザー顕微鏡、SPMでそれぞれ非接触表面粗さ測定ができ、サンプルや目的によって使い分けることができる。●ガイダンス画面に従って迷わず操作できる6つのSPM測定モードを用意。 <標準モード> コンタクトモード、ダイナミックモード、位相モード <オプションモード> 電流モード、表面電位モード(KFM)、磁気力モード(MFM)■用途:工業製品・素材等の研究開発、QA、QCを目的とする非接触3D測定ナノサーチ顕微鏡 LEXT OLS4500ミリからナノまで1台の顕微鏡でシームレスに観察と測定。光学顕微鏡、レーザー顕微鏡、プローブ顕微鏡(SPM)の一体型モデル。レーザー干渉測長機光走査外寸測定機

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