光学・精密測定機器ガイド2019
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24長さ位置・座標3次元座標測定機CL Select 高速・大型部品測定用 非接触3D表面形状測定機高速、高精度に形状、キズを測定。測定、評価の自動化に対応■大型部品のミクロン単位のキズを高速で検知■100mm x 100mmの測定を約1分で完了■製品の合否を自動判定■測定項目:形状、輪郭、真直度、平坦度、体積/キズ鉛直方向分解能:20 nm – 320 nm水平後方分解能:1µm – 5µmワーキングディスタンス最大:41mm *センサータイプにより異なります。CM Mobile ポータブル型 非接触3D表面粗さ・形状測定機ナノ単位での測定が可能なポータブル型共焦点顕微鏡■ポータブル型デザインにより大型測定物に直接置いて測定をすることが可能■マルチピンホールディスクの採用により従来比7倍の測定スピードを達成■測定項目:表面粗さ、断面粗さ、形状、輪郭、真直度、平坦度、体積/キズ水平方向分解能:0.31μm /対物レンズ100倍使用時鉛直方向分解能:2nm /対物レンズ100倍使用時測定精度/標準偏差(高さ):σ=0.004μm / 20倍レンズ使用時測定精度/標準偏差(粗さ):σ=0.005μm / 20倍レンズ使用時 マール・ジャパン 株式会社 マール・ジャパン 株式会社 株式会社 ユーロテクノブルカー・アリコナ社製光学式非接触三次元測定機「インフィニートフォーカスG5」インフィニートフォーカスG5は焦点移動法に基づく非接触三次元測定機です。・1視野約4秒という同シリーズ最速の測定時間・最小垂直分解能10nm、最小水平分解能90nm・最大23.5㎜の高ワーキングディスタンス・最大傾斜85度の角度を持つサンプルの測定が可能・STL等の3DCADデータの入出力が可能・回転ユニットにより回転工具や円筒形状のサンプルの全周測定が可能・体積解析や差分解析など豊富な解析ソフトを搭載<基本仕様>・測定原理:焦点移動法(フォーカスバリエーション)・分解能:10nm(垂直) 90nm(水平)・XY軸ステージストローク:100㎜ x 100㎜・Z軸:100㎜ 株式会社 ユーロテクノブルカー・アリコナ社製光学式非接触三次元測定機「インフィニートフォーカスSL」インフィニートフォーカスSLは焦点移動法に基づく非接触三次元測定機です。・最小垂直分解能20nm、最小水平分解能200nm・最大34㎜の高ワーキングディスタンス・最大傾斜85度の角度を持つサンプルの測定が可能・STL等の3DCADデータの入出力が可能・回転ユニットにより回転工具や円筒形状のサンプルの全周測定が可能・体積解析や差分解析など豊富な解析ソフトを搭載・幅200㎜のコンパクト設計な汎用三次元測定機<基本仕様>・測定原理:焦点移動法(フォーカスバリエーション)・分解能:20nm(垂直) 200nm(水平)・XY軸ステージストローク:50㎜ x 50㎜・Z軸手動ストローク:130㎜、Z軸自動ストローク:26㎜

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