光学・精密測定機器ガイド2017
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33非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope(オプトスコープ)R非接触。高分解能。広範囲。0.1 nmの高分解能により、挟範囲の微細粗さ解析から、広範囲のうねり形状解析まで、幅広く応用が可能。“非接触”かつ“短時間”でワーク形状の面全体を三次元的に評価します。<特長>■独自の白色干渉縞ピーク検出手法 DEAP(ディープ)従来では上手く測定できなかった部品の形状データの取得が可能■多様な測定に対応電動XYステージを利用することで連続測定が可能干渉対物レンズ視野に収まらない広い範囲の測定も可能(スティッチング機能)■短時間、数十秒で測定触針式の三次元表面粗さ測定機で必要なXY 軸方向のスキャン動作が不要なため、測定スピードが圧倒的に速く、短時間で測定が完了できる 株式会社 東京精密高精度非接触3次元形状粗さ測定器 ZeGageTM Plus高精度非接触3次元形状粗さ測定器ZeGage™ Plusは、ZYGO NewView™ シリーズの廉価版として位置付けされ、測定精度は維持しつつ現場での使用に適したモデルです。NewView™ シリーズと同じ解析ソフトウェアMx™を搭載し、多様なアプリケーションに対応。設置スペースもコンパクトで、防振台無しでも使用が可能(環境による)。- MxTMソフトウェアにより容易な操作と多様な解析が可能- 振動に強いアルゴリズムSureScanTM を搭載- 電動ステージと自動制御によりつなぎ合わせ測定での広範囲測定が可能- ISO25178準拠の各パラメータ評価が可能- アプリケーションに応じた多種の対物レンズ アメテック株式会社 ザイゴ事業部ナノ粗さ・高さ形状測定器 「TN-A1」本システムは高さ形状(粗さ、段差、角度など)を分解能0.1nmで光学的(非接触)に計測します。シリコンウェハー等の粗さ、うねりの計測に最適です。主な特長・高さ分解能0.1nm・振動に強く、防振台不要(生産ラインで利用可能)・高さ寸法目盛が正確(レーザー光波長633nmが基準)・微小スポット光を走査・他に類を見ない広範囲が同時測定できる(ステージストローク100mm)・高い正確性・再現性(繰り返し計測誤差2nm以下) ツクモ工学 株式会社長さ表面粗さ測定機

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