ポリテックジャパン株式会社長さ 表面粗さ測定機 株式会社日立ハイテク ブルカージャパン株式会社33●視野角に依存しないサブナノメートルのZ分解能●最大およそ200×200…mm…の広範な面をワンショットでスピーディに測定●Z方向の測定深度レンジは最大100…mm●測定は、部品の形状（段差、ヒケなど）から、3次元表面性状パラメータまで●形状偏差、うねり、粗さのパス/フェイル分析＜特徴＞①高分解能・広範囲観察・…垂直分解能0.01nm（Phaseモード時）を実現。多くの光学式測定器と異なり、対物レンズ焦点深度の影響を受けることなく、広い範囲におけるナノオーダーの粗さ・段差の計測が可能。②高い測定再現性・…レーザ顕微鏡をはるかに凌ぐ再現性0.1%以下（Phaseモード時）を実現。③高速・非破壊計測・…サンプルを面で捉え、ＸＹ方向の走査がないことで測定を高速化し、非接触方式のためサンプルにダメージを与えることなく測定可能です。＜特長＞・最表面の反射情報を的確にとらえるUSIモードによる高い測定正確性を実現。・高密度&広領域をとらえる測定用5M画素カメラを標準搭載・2×2ビニング処理により測定感度を飛躍的に向上・チルトヘッド構造により試料傾斜調整時の測定座標の位置ずれ問題を完全解決・各種3D測定：実装基板用途・MEMS用途・車載部品用途等の業界専用解析にも対応 ・リニアリティの高いZ方向…測定ダイナミックレンジ：0.1…nm…-…10…mm・リファレンスシグナル制御による驚異的な測定安定性を実現 ・2…種類の高輝度LED（白・緑）で輝度のロスなく波長限定測定に対応・Find…Surface機能で焦点合せを完全自動化非接触 表面粗さ・形状測定機 TopMapシリーズポリテックのTopMap… 非接触表面粗さ・形状測定機シリーズは、白色光干渉計であり、機能性表面を高精度かつ高信頼性で検査するための理想的な測定ソリューションです。ラボから生産ラインまで、あらゆる環境で3次元プロファイルを測定し、段差、うねり、粗さ、平面度、平行度などの形状パラメータや、微細構造を評価します。日立 ナノ3D光干渉計測システムVS1800光の干渉現象を利用して、レーザ顕微鏡を上回る高い垂直分解能での表面形状測定を実現します。機能性フィルムや半導体、自動車摺動部品、ディスプレイ業界などにおいて求められている高精度な計測を実現のみならず、透明多層膜の層断面解析という独特な非破壊解析を行うことも可能です。3次元白色干渉型顕微鏡 ContourX シリーズ40年以上にわたる光学干渉式計測器の開発実績をベースに、精密電子部品から車載部品等の大型試料に至るまでの幅広いサイズのサンプルに対応した… 非接触３次元形状測定・解析機能を提供
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