光学・精密測定機器ガイド2019
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34長さ表面粗さ測定機3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5000JIS・ISOに準拠した三次元粗さを非接触で高速測定。3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5000が提供する4つのバリュー(1) 表面性状の真の形状を捉える。(2) 業界最高のデータを、かつてないスピードで。(3) スタートボタンを押すだけで、誰でも同じアウトプット。(4) 高さのあるサンプルも今すぐ測定可能。 株式会社 小坂研究所 株式会社 小坂研究所 株式会社 小坂研究所ハイブリッド微細形状測定機 NanoTexturer ET600<接触と非接触の融合 >触針、レーザAF、白色干渉の検出器が一つのユニットになりました。ユニット化することで検出器を交換した際に位置ズレは生じず、それぞれの相関を取ることが可能になりました。主な仕様★測定範囲 :縦 : 100μm 横 : 210mm★真直度精度 :0.01μm / 5mm(0.2μm / 100mm)★触針式検出器 :触針 R2μm 頂角60°ダイヤモンド測定力 0.5 ~ 500μN★レーザーAF式検出器 :半導体レーザスポット径 2μm★白色干渉式検出器 :白色光ダイナミックモーション 非接触粗さ測定機 SE800+PU-OS501W<ロボットとの組み合わせで完全自動化を実現>測定ワーク自動供給により、測定検査工数の削減と測定者の負担を軽減します。全閉カバー内での自動運転により安全性を確保します。非接触検出器「Crispy」採用による高速測定を実現しました。主な仕様★表面粗さ測定機SE800★測定範囲Z:500um X:100㎜★モニターデュアルモニターにより、解析結果合否判定、測定中動画表示★除振台パッシブ型エアー除振台★ロボットFANUC社製 LR Mate 200iD/7L 最新の6軸ロボット非接触検出器 Crispy / Trispy<後付も可能>サンプルをキズつけることなく測定が可能です。焦点位置からのズレ量を検出するため、形状に追従して動く、高速測定ができます。レーザの光量を20段階で変更可能となり低反射率なサンプルでも測定可能です。主な仕様★測定範囲12~30μm(分解能:0.2~0.5nm)30~500μm(分解能:0.5~7.6nm)★繰返し性10~20nm★レーザ最大出力 2mW、波長 635nm、クラス Class1(JIS C 6802:2011)

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