メカニカルユニット ハイウィン株式会社 ハイウィン株式会社 ハイウィン株式会社 ハイウィン株式会社46部品・ユニット …12インチウエハ測定装置に適用。サーボ安定性が高く、高倍率の視覚測定に。【特長】・位置決め安定性±2nm・速度リップル±0.1%@100mm/s・低床構・高い幾何学的精度・機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能・ワンストップサービス・カスタム対応可能【用途】半導体検査装置や半導体製造装置（IC…Bonding）などに【特長】・モジュール設計により短納期対応・高コストファーマンス・ストロークのカスタマイズが可能・複数可動子対応・ベストセラーのHIWIN製ドライバーと組合せ可・耐油性、防塵性、防水性【用途】幅広い産業の自動化にすべて自社製のキーコンポーネント（リニアモーター・リニアガイドウェイ・ボールねじ・DDモータ・サーボモーターやドライバー）を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザの競争力を高めるお手伝いをいたします。高コスパを誇る標準品のほか、幅広い製品群で柔軟なカスタマイズもご相談ください。当社のリニアモーターと組み合わせて、比較的容易に全高約250mmの高精度XYθステージを実現します。【特長】・圧倒的な大中空径・高分解能で優れた位置決め精度・ギアなし、ゼロバックラッシュ・独自の磁気回路設計により高トルク【用途】自動化機器や省人化機器、搬送機器の省スペース化・低重心化にナノ精度位置決めステージ N2技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に応える、ナノ精度の位置決めリニアモーターステージリニアモーター単軸ステージ SSAシリーズ高速・高精度・短納期で優れたコストパフォーマンスを実現単軸の位置決めステージ高精度位置決めリニアモーターステージ2軸ステージから、ガントリー型、XYZ直交座標ロボットなどニーズに合わせたカスタム対応薄型DDモーター DMTシリーズ業界最薄クラス。厚さ22mm/30mmをラインアップ圧倒的な大中空径で装置設計の自由度を向上
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