株式会社小坂研究所測定顕微鏡 段差・厚さ測定機10●ステージ測定範囲 50×50mm,…100×100mm,150×100mm,…200×150mm,250×150mm,…300×200mm●デジタルカウンタの最小表示量： 1/0.5/0.1㎛切換●測定精度：（2.2＋0.02L）㎛●対物レンズ測定顕微鏡専用レンズ1×… （作動距離…79mm）,………3×（作動距離…75mm）,5×… （作動距離…64mm）,…10×（作動距離…48mm）,20×…（作動距離…20mm）,…50×（作動距離…15mm）,100×…（作動距離……4mm）※観察用高性能対物レンズもご用意しています。●ステージの測定範囲： 200×170㎜ 300×170㎜ 400×200㎜ステージサイズ：φ220㎜測定長さ（X軸：205㎜ /Y軸：280㎜）真直度（X軸：0.1μm/100mm Y軸：5.0μm/100mm）測定範囲 1300μm最高分解能 0.05nm 段差再現性 1σ0.3nm以下触圧範囲 3 ～ 60mgf粗さ計モード：プロキーによる測定条件一発呼び出し、2STEP測定可能！測定範囲 800μm最高分解能 0.04nm 測定力 0.75mN真直度精度 0.3μm/55mm送り装置 W234×D84×H150mm ・約3.5kg増幅演算装置 W442×D190×H162mm ・約6.0kg 株式会社ミツトヨ 株式会社小坂研究所 株式会社ニコン長さ 寸法・距離 …にスキャン測定顕微鏡 MM-400N / MM-800Nシリーズ測定の高精度化・システムとの連携など、さまざまな機能を強化した高性能測定顕微鏡です。新開発の透過照明機構の採用により、操作性と測定精度が従来機に比べ、向上しました。測定顕微鏡 MF/MF-Uシリーズ（Z軸モータドライブ）MFシリーズのZ軸をモータドライブ化したタイプです。画像ユニット（オプション）と組み合わせることで、画像AFを行えます。最大4000×の高倍率接眼観察が可能です。膜厚・段差測定機 Nano Texturer NT1520操作性：ワイドレンジ検出器，新開発ソフトウェア nSTAR…スピード：Ｘ，Ｙ方向両軸測定,測定パスの最適化（従来比40％短縮）測定精度・再現性：直動方式検出器 ※世界で唯一の検出器方式段差・表面形状検査機 SE500pro段差計モード：…タブレットPC操作・真直度精度保証によるプロフィールを正確
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