レーザー干渉測長機〈特徴〉■レーザによる高精度な点群データを収集。絶対精度5μm…再現性1μmの精密計測を実現。■…プローブを交換することなく、1… 本のプローブで内径の側面と深さの計測が可能となります。■1本のプローブでφ6…～φ100mm…の広範囲な内面形状の計測が可能■非接触測定により、１つの内径計測を１～２秒で達成…※移動時間は含めず発振波長 632.991nm（真空中にて）周波数の安定度 ≦4×10-9定格出力 1.2mW＜特徴＞・最大5000ｍｍのワーキングディスタンス・最小分解能1ピコメートル・10MHzのデータレート・標準センサヘッドサイズφ4…x…13mmと小型で組み込みが容易・真空・超高真空・極低温など、様々な環境に対応するオプションを用意・ステージのヨーイング・ピッチング測定やディファレンシャル測定などへの応用も可能 株式会社フィジックステクノロジー 長野オートメーション株式会社 ネオアーク株式会社13長さ 寸法・距離 …GLOBESCAN（グローブスキャン）非接触計測ソリューションFMCW（Frequency…Modulated…Continuous…Wave_周波数連続変調）方式を採用し、狭く複雑な穴形状を非接触で計測します。モードバランス型周波数安定化He-Neレーザ高精度を求めるフィールドに最適！ネオアークのモードバランス型周波数安定化He-Neレーザは、優れた波長安定性とレーザ菅改良による長寿命化を両立！測長器や干渉計の光源に理想的な国産の周波数安定化He-Neレーザが数十万円で手に入れられます！最小分解能1ピコメートル レーザ干渉変位計PicoScaleSmarAct社のPicoScaleは、マイケルソン干渉原理を採用したレーザ干渉変位計です。非常にコンパクトなセンサヘッドに参照面を内蔵し、対象物からの反射光との干渉により、高精度な変位計測を行うことができます。
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