―…S1200：様々な形状の部品の複数箇所を多方向／角度から全自動測定…―■…輪郭と粗さを1ストロークで測定■…複数のプローブを使用する場合も全自動でプローブアームを交換可能【代表的な測定タスク】 ポリテックジャパン 株式会社 株式会社 東京精密 マール・ジャパン 株式会社 株式会社 日立ハイテク34●ナノメートルの分解能●最大およそ200×200…mm…の広範な面をワンショットでスピーディに測定●Z方向の測定深度レンジは最大100…mm●測定は、部品の形状（段差、ヒケなど）から、ものの表面の性状（粗さなど）まで●形状偏差、うねり、粗さのパス/フェイル分析＜特長＞■弊社独自の白色干渉縞検出アルゴリズムにより、0.01…nmの高分解能を実現■触針式表面粗さ測定機との高い相関性■…高速カメラオプションと高速専用アルゴリズムDEAP2により、スキャン速度が6倍に■ワークピースサイズに応じたカスタマイズが可能■…新開発のフォーカスバリエーション測定機能により、急傾斜を含むミリ形状の高速測アップ定を実現モジュール1以上のギヤやギヤシャフトなど多種多様な部品の粗さパラメータを測定外歯車・ストレートギヤ・ヘリカルギヤ（右／左ねじれ）にも対応ノズル本体、バルブニードル、アーマチュア、カムピースなど多彩な形状の小型部品＜特徴＞①高分解能・広範囲観察・…垂直分解能0.01nm（Phaseモード時）を実現。多くの光学式測定器と異なり、対物レンズ焦点深度の影響を受けることなく、広い範囲におけるナノオーダーの粗さ・段差の計測が可能。②高い測定再現性・…レーザ顕微鏡をはるかに凌ぐ再現性0.1%以下（Phaseモード時）を実現。③高速・非破壊計測・…サンプルを面で捉え、ＸＹ方向の走査がないことで測定を高速化し、非接触方式のためサンプルにダメージを与えることなく測定可能です。長さ表面粗さ測定機非接触 表面粗さ・形状測定機 TopMapシリーズポリテックのTopMap…非接触表面粗さ・形状測定機シリーズは、白色光干渉計であり、機能性表面を高精度かつ高信頼性で検査するための理想的な測定ソリューションです。研究室から生産ラインまで、あらゆる環境で3次元プロファイルを測定し、段差、うねり、平面度、平行度などの形状パラメータや、粗さ、微細構造を評価します。非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope（オプトスコープ）白色干渉顕微鏡にフォーカスバリエーション機能をプラスし、サブナノ粗さからミリ形状まで、測定の幅がますます広がる非接触三次元表面粗さ・形状測定機S1300/S1200 全自動表面粗さ測定機 ヘリカルギヤ/小型部品用―…S1300：ギヤ歯面の筋目方向の高精度粗さを全自動で測定…―■…一度のセッティングで全箇所を測定■…人による位置決めなど時間がかかる工程を自動化→測定時間を大幅短縮【測定項目】日立 ナノ3D光干渉計測システムVS1800光の干渉現象を利用して、レーザ顕微鏡を上回る高い垂直分解能での表面形状測定を実現します。機能性フィルムや半導体、自動車摺動部品、ディスプレイ業界などにおいて求められている高精度な計測を実現のみならず、透明多層膜の層断面解析という独特な非破壊解析を行うことも可能です。
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